流量傳感器和控制器

用于氣體 Rapi Flow® 的微型流量傳感器

型號

密克羅尼西亞聯(lián)邦

某些變體不再可用。

這是一款用于壓縮空氣和氮氣的超小型流量傳感器。

由于其重量輕和響應速度快，因此非常適合檢查電子元件的吸附情況。

工業(yè)

• 半導體制造工藝（后端工藝）

[超小型輕量] （FSM-X系列） 通過分離傳感器頭實現(xiàn)超小型化

。

與常規(guī)體積相比，它比常規(guī)體積小 52%，而且重量輕，4G *薄，為 8 毫米。

有兩種類型的產品陣容：單個傳感器頭和流路塊。

[非線性特性] （FSM-X系列）模擬

輸出是非線性的，因此在低流量范圍內的分辨率得到了提高。

[高速響應] （FSM-V 和 FSM-X 系列） 5 ms 的高速

響應實現(xiàn)了原本被放棄的設計

[雙面測量] （FSM-V / FSM-X 系列） 由于

可以進行雙向測量，因此非常適合吸附確認應用。

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2024/8/7